環(huán)氧乙烷滅菌是一種低溫滅菌過程，旨在對對熱和/或濕氣敏感的儀器或設(shè)備進(jìn)行滅菌。ETO是一種易燃易爆的無色氣體。四個(gè)基本參數(shù)（操作范圍）是：氣體濃度（450至1200毫克/升）; 溫度（37至63°C）; 相對濕度（40至80％）（水分子攜帶ETO到反應(yīng)位點(diǎn)）; 和暴露時(shí)間（1至6小時(shí)）。這些影響了ETO滅菌的有效性。在某些限制內(nèi)，氣體濃度和溫度的升高可縮短實(shí)現(xiàn)滅菌所需的時(shí)間。
與ETO相關(guān)的主要缺點(diǎn)是周期時(shí)間長，成本高，以及對患者和工作人員的潛在危害; 主要優(yōu)點(diǎn)是它可以對熱敏或濕度敏感的醫(yī)療設(shè)備進(jìn)行消毒，而不會(huì)對醫(yī)療設(shè)備中使用的材料產(chǎn)生有害影響。急性暴露于ETO可能導(dǎo)致刺激（例如，皮膚，眼睛，胃腸道或呼吸道）和中樞神經(jīng)系統(tǒng)抑制。慢性吸入與白內(nèi)障的形成，認(rèn)知障礙，神經(jīng)功能障礙和致多發(fā)性神經(jīng)病變有關(guān)。醫(yī)療機(jī)構(gòu)的職業(yè)暴露與血液學(xué)變化和自然流產(chǎn)和各種癌癥的風(fēng)險(xiǎn)增加有關(guān)。ETO應(yīng)被視為已知的人類致癌物質(zhì)。